Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Автор: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2010
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 288
Описание: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Цена: 398 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Условия труда
Условия труда - совокупность факторов производственной среды и трудового процесса, оказывающих влияние на работоспособность и ...
Тяжесть труда
Тяжесть труда - характеристика трудового процесса, отражающая преимущественную нагрузку на опорно-двигательный аппарат и ...
Рабочее место
Рабочее место - место, в котором работник должен находиться или в которое ему необходимо прибыть в связи с его работой и ...
Обострение
Обострение (recrudescence) - рецидив заболевания после периода клинического улучшения или ремиссии ...
Витализм
Витализм (от лат. vitalis - жизненный) - течение в биологии, признающее наличие в организмах нематериальной сверхъестественной ...
Болезнь
Болезнь - это реакция организма на его повреждение. Различают следующие причины болезней: 1) механические (закрытые и открытые ...
